思 锐 奇 系 统 官 网 首 页 产 品 s c i a S y s t e m s 靶 材 蒸 发 材 料 与 B o n d i n g 技 术 P E C V D （ 化 学 气 相 沉 积 ） 和 等 离 子 体 监 测 过 程 控 制 系 统 离 子 束 刻 蚀 系 统 s c i a M i l l 1 5 0 s c i a M i l l 2 0 0 s c i a M i l l 3 0 0 离 子 束 抛 光 刻 蚀 机 s c i a T r i m 2 0 0 s c i a F i n i s h 1 5 0 0 s c i a T r i m 3 0 0 离 子 束 溅 射 镀 膜 机 s c i a C o a t 2 0 0 s c i a C o a t 5 0 0 s c i a O p t o 3 0 0 磁 控 溅 射 镀 膜 系 统 s c i a M u l t i 6 8 0 s c i a M u l t i 1 5 0 0 s c i a M a g n a 2 0 0 s c i a M u l t i 3 0 0 s c i a M u l t i 5 0 0 离 子 源 s c i a 微 波 离 子 源 M W 系 列 s c i a 射 频 离 子 源 R F 系 列 化 学 气 相 沉 积 与 反 应 离 子 刻 蚀 系 统 P E C V D / R I E s c i a C u b e 3 0 0 s c i a C u b e 7 5 0 电 子 束 蒸 发 掠 角 沉 积 系 统 s c i a E v a 2 0 0 干 洗 系 统 s c i a C l e a n 8 0 0 s c i a C l e a n 1 0 0 0 / 1 5 0 0 / 3 0 0 0 溅 射 靶 材 （ S p u t t e r T a r g e t ） 靶 材 B o n d i n g 技 术 微 波 等 离 子 体 源 M I R O 2 0 0 C I 等 离 子 体 监 测 和 过 程 控 制 系 统 应 用 新 闻 关 于 联 系 首 页 产 品 s c i a S y s t e m s 离 子 束 刻 蚀 系 统 离 子 束 抛 光 刻 蚀 机 离 子 束 溅 射 镀 膜 机 磁 控 溅 射 镀 膜 系 统 离 子 源 化 学 气 相 沉 积 与 反 应 离 子 刻 蚀 系 统 P E C V D / R I E 电 子 束 蒸 发 掠 角 沉 积 系 统 干 洗 系 统 靶 材 蒸 发 材 料 与 B o n d i n g 技 术 溅 射 靶 材 （ S p u t t e r T a r g e t ） 靶 材 B o n d i n g 技 术 P E C V D （ 化 学 气 相 沉 积 ） 和 等 离 子 体 监 测 过 程 控 制 系 统 微 波 等 离 子 体 源 M I R O 2 0 0 C I 等 离 子 体 监 测 和 过 程 控 制 系 统 应 用 新 闻 关 于 联 系 s c i a S y s t e m s 我 们 的 系 统 设 计 灵 活 且 模 块 化 。 这 使 我 们 能 够 为 客 户 提 供 标 准 和 个 性 化 的 解 决 方 案 。 m o r e > 离 子 束 刻 蚀 系 统 离 子 束 抛 光 刻 蚀 机 离 子 束 溅 射 镀 膜 机 磁 控 溅 射 镀 膜 系 统 离 子 源 化 学 气 相 沉 积 与 反 应 离 子 刻 蚀 系 统 P E C V D / R I E 电 子 束 蒸 发 系 统 干 洗 系 统 m o r e > 靶 材 蒸 发 材 料 与 B o n d i n g 技 术 所 提 供 多 范 围 的 高 性 能 薄 膜 涂 层 材 料 应 用 范 围 广 ， 例 如 大 面 积 涂 层 、 精 密 光 学 、 触 摸 屏 和 装 饰 涂 层 。 m o r e > 溅 射 靶 材 （ S p u t t e r T a r g e t ） 靶 材 B o n d i n g 技 术 m o r e > P E C V D （ 化 学 气 相 沉 积 ） 和 等 离 子 体 监 测 过 程 控 制 系 统 工 艺 控 制 在 工 业 等 离 子 应 用 中 至 关 重 要 ， 以 确 保 工 艺 的 可 靠 性 和 高 质 量 。 在 这 里 ， 光 谱 法 是 首 选 技 术 ， 因 为 它 不 会 影 响 等 离 子 体 ， 并 且 可 以 实 时 监 测 多 种 等 离 子 种 类 。 系 统 是 一 种 基 于 光 谱 法 的 等 离 子 体 监 测 系 统 ， 具 有 分 析 、 优 化 和 控 制 等 离 子 体 应 用 所 需 的 所 有 功 能 。 m o r e > 等 离 子 体 监 测 和 过 程 控 制 系 统 微 波 等 离 子 体 源 M I R O 2 0 0 C I m o r e > 应 用 我 们 的 设 备 主 要 应 用 于 M E M S 和 精 密 光 学 元 件 的 生 产 ， 同 时 也 应 用 于 天 文 学 和 生 物 医 学 技 术 。 m o r e > 联 系 电 话 0 5 1 2 6 8 3 5 6 1 2 7 电 子 邮 箱 i n f o @ 3 k e y s y s t e m s . c o m 公 司 地 址 苏 州 市 高 新 区 珠 江 路 9 0 0 号 1 号 楼 2 0 7 B C o p y r i g h t © 2 0 2 3 版 权 所 有   思 锐 奇 系 统 （ 苏 州 ） 有 限 公 司   苏 I C P 备 2 0 2 3 0 2 9 2 5 4 号 1 法 律 声 明 网 站 地 图 友 情 链 接 工 商 业 储 能 首 页 电 话 留 言 顶 部 您 可 以 填 写 下 面 的 资 料 留 言 给 我 们 ， 我 们 会 尽 快 回 复 您 。 姓 名 电 话 邮 箱 公 司 信 息

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